德國(guó)SIKA公司的微小流量檢測(cè)-超聲波流量計(jì)

德國(guó)SIKA公司的微小流量檢測(cè)-超聲波流量計(jì)

半導(dǎo)體制造業(yè)、生物工程、精細(xì)化工等的興起，使流量測(cè)量向低端延伸，小流量微小流量的需求在上世紀(jì)80～90年代凸顯起來(lái)。何謂小流量？業(yè)界尚無(wú)公認(rèn)的定義和界限，小流量因應(yīng)用領(lǐng)域而異是一個(gè)模糊的概念。管道小流量測(cè)量體現(xiàn)于管徑小和流速低兩個(gè)層次，就流程工業(yè)而言，習(xí)慣上DN10甚至DN15以下管徑流量測(cè)量稱(chēng)之小流量測(cè)量，通常其流量值液體為1L/min或0.06m3/h以下，流量?jī)x表滿度流量時(shí)的流速低于0.1m/s。傳統(tǒng)小流量測(cè)量技術(shù)節(jié)流差壓(層流)法、浮子法和容積法等有了**的改進(jìn)，新測(cè)量技術(shù)如超聲法、熱法、科里奧利法等也有成效地應(yīng)用于液體和氣體小流量測(cè)量。

一，微小流量測(cè)量特征            
小流量、微小流量測(cè)量很大程度是在半導(dǎo)體制造業(yè)需求的激發(fā)下獲得發(fā)展的，從超凈氣體到純水、藥液的流量測(cè)量和控制。當(dāng)代食品醫(yī)藥、精細(xì)化工及各行業(yè)試驗(yàn)工廠定量加液和混合配比，今后生物產(chǎn)業(yè)繁多其應(yīng)用也促進(jìn)小流量?jī)x表的研究開(kāi)發(fā)。微小流量測(cè)量與一般流量測(cè)量相比較，具有以下特點(diǎn)。         
1.    雷諾數(shù)低
2.    要用實(shí)際使用流體校準(zhǔn)
用空氣校準(zhǔn)。若知道實(shí)際測(cè)量流體與校準(zhǔn)流體間某些物性不同對(duì)示值有規(guī)律變化時(shí)，中大管徑流量?jī)x表常以適當(dāng)系數(shù)修正。但有些小流量?jī)x表受黏度等流體物性影響大，須以實(shí)際使用流體校準(zhǔn)。所幸流量小，用實(shí)際使用流體校準(zhǔn)難度不大，但在作有害性流體校準(zhǔn)時(shí)應(yīng)注意**和環(huán)境污染。
3.    要求測(cè)量時(shí)防止污染流體
若測(cè)量潔凈氣體和純水常不允許接觸流體的儀表零件材料析出離子，例如半導(dǎo)體制備中儀表不能用金屬和玻璃制成，只能用塑料。流體中也不容許混入活動(dòng)件的磨蝕塵粒。流量?jī)x表流通通道要盡可能簡(jiǎn)單，不應(yīng)有潴留部位，防止潴留介質(zhì)變質(zhì)。
4.    氣泡和塵埃附著的影響
因管徑小黏性增加，液體中微細(xì)氣泡易在管系流動(dòng)過(guò)程中積聚變大，使測(cè)量時(shí)指示不穩(wěn)，**度下降。流體中塵埃附著測(cè)量元件也要影響測(cè)量值，例如浮子流量計(jì)的浮子上沉積有肉眼覺(jué)察不出的附著層也會(huì)影響示值。

二，微小流量測(cè)量?jī)x表
1.    差壓式
2.    浮子流量計(jì)
3.    容積式流量計(jì)
4.    熱式流量計(jì)
5.    超聲流量計(jì)
6.    科里奧利質(zhì)量流量計(jì)
7.    電磁流量計(jì)
8.    示蹤式流量計(jì)